- Abstandsbelichtungsverfahren
- nметод бесконтактного экспонирования [бесконтактной фотолитографии]; метод экспонирования с микрозазором [на микрозазоре]
Deutsch-Russische Wörterbuch polytechnischen. 2013.
Deutsch-Russische Wörterbuch polytechnischen. 2013.